5 ašių frezuoti keraminiai izoliatoriai puslaidininkinei įrangai ir švarioms patalpoms

Puslaidininkių gamybos ir švarių patalpų pasaulyje, kuriame rizika yra didelė, kiekvienas komponentas turi veikti nepriekaištingai.PFT, specializuojamės rankdarbių gamyboje5 ašių frezuoti keraminiai izoliatoriaikurie iš naujo apibrėžia tikslumą ir patikimumą. Su daugiau nei 20Remdamiesi ilgamete patirtimi, mūsų sprendimai yra sukurti taip, kad atitiktų griežtus puslaidininkių įrangos reikalavimus, užtikrinant terminį stabilumą, elektros izoliaciją ir veikimą be užteršimo itin jautriose aplinkose.

Kodėl verta rinktis mūsų 5 ašių frezuotus keraminius izoliatorius?

1.Pažangios gamybos galimybės

Mūsų įstaiga yra aprūpintamoderniausios 5 ašių CNC frezavimo staklės, leidžiantis mikronų lygio tikslumu formuoti pažangią keramiką, tokią kaip aliuminio oksidas (Al₂O₃), silicio karbidas (SiC) ir aliuminio nitridas (AlN). Skirtingai nuo įprastinių metodų, 5 ašių apdirbimas leidžia gauti sudėtingas geometrijas – tai labai svarbu tokiems komponentams kaip plokštelių kėlimo kaiščiai, nusodinimo kameros dalys ir plazmai atsparūs izoliatoriai.

Pagrindinės savybės:

•Tikslumas:±0,005 mm tolerancija, užtikrinanti sklandų integravimą į ASML litografijos įrankius arba „Lam Research“ ėsdinimo sistemas.
•Medžiagos universalumas:Optimizuota 99,8 % aliuminio oksidui, didelio grynumo SiC ir kitai pažangiai keramikai.
•Paviršiaus apdaila:Ra <0,2 μm, siekiant sumažinti kietųjų dalelių susidarymą ISO 1 klasės švariose patalpose.

2.Patentuota procesų inžinerija

Mūsų inžinieriai sukūrėuždarojo ciklo procesų valdymaskurie prisitaiko prie keramikos trapumo apdirbimo metu. Derindami sausojo frezavimo metodus su realaus laiko vibracijų slopinimu, pasiekiame įtrūkimų neturinčius paviršius ir ilgesnį komponentų tarnavimo laiką – net ir esant ekstremaliems terminiams ciklams (iki 1600 °C).

Inovacijų apžvalga:

•Streso mažinimo protokolai:Sumažinti AlN izoliatorių mikroįtrūkimus, skirtus CVD taikymams.
•Apdorojimas po mechaninio apdirbimo:HIP (karštas izostatinis presavimas) padidina tankį ir atsparumą korozijai.

3.Griežtas kokybės užtikrinimas

Kiekvienas izoliatorius yra12 etapų patikra, įskaitant:

•KMM (koordinatinis matavimo įrenginys)kritinių matmenų patvirtinimas.
•Helio nuotėkio bandymasdėl suderinamumo su vakuumu.
•EDS (energijos dispersijos rentgeno spindulių spektroskopija)medžiagos grynumui patikrinti.

MūsųISO 9001/14001 sertifikuota sistemaužtikrina atsekamumą nuo žaliavų įsigijimo (gaunamų iš pirmos pakopos tiekėjų, tokių kaip „CoorsTek“) iki galutinės pakuotės.

Pritaikymas: kur tikslumas susitinka su našumu

Mūsų izoliatoriais pasitikima:

•Ėsdinimo ir nusodinimo įrankiai:SiC dengti komponentai, skirti atsparumui plazmai „Applied Materials™“ moduliuose.
•Jonų implantai:Aliuminio oksido kėlimo kaiščiai su antistatinėmis dangomis, kad plokštelės neslystų.
•Metrologijos sistemos:Mažo šiluminio plėtimosi izoliatoriai EUV litografijos pakopoms.

Atvejo analizė:Pirmaujantis puslaidininkių originalios įrangos gamintojas (OEM) 40 % sumažino įrankių prastovas, perėjęs prie mūsų specialiai sukurtų SiC dušo galvučių, kurios 300 mm plokštelių apdirbimo srityje pranoko konkurentų dalis.

Daugiau nei gamyba: partnerystės metodas

•Greitas prototipų kūrimas:Pateikite savo CAD failus ir per 7 dienas gaukite veikiančius prototipus.
•Pakuotė švarioms patalpoms vietoje:Papildomai galima sumontuoti 10 klasės švariąją patalpą, kad būtų galima tiesiogiai integruoti įrankius.
•Visą gyvenimą trunkanti techninė pagalba:Mūsų inžinieriai teikia nusidėvėjimo analizės ir pakartotinio apdirbimo paslaugas, kad prailgintų komponentų gyvavimo ciklą.